管式炉-1200低真空CVD系统

1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。

主要技术参数

炉体结构	整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构；日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好；炉子底部装有一对滑轨，移动平稳；炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却；支撑两端安装油压缓冲器；炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
尺寸重量	12406001340mm；170kg
电源	电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
炉管	高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小；尺寸：Φ60/80/100*1200mm
法兰及支撑	SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空；一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷；可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑；包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合。
加热系统	加热元件采用优质合金丝，表面负荷高、经久耐用；加热区长度：300mm；恒温区长度：150mm；工作温度：≤1150℃； *温度：1200℃；升温速率：推荐≤10℃/min，快升温速度30℃/min
温控系统	日本富士仪表，64段控温程序，可分步、分段；测温元件：N型热电偶；控温精度：±1℃
混气系统	三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套每路气体进气管路配有不锈钢针阀通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5%
真空系统	采用双极旋片真空泵，真空度可达10Pa
可选配件	高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件
保修期	整机一年保修（相关耗材除外）

可根据客户要求定制！

特色与优势

1.滑动式炉体结构实现快速升降温；

2.开启式炉盖设置，降低沉积温度、加快沉积速度；

3.日本富士温控仪表，64段控温程序，可分布，分段，三路质量流量计，数字显示精确控制气体流量；

4.双极旋片真空泵+分子泵，实现对真空度的不同要求，极限真空可达4.0*10^-4Pa。

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