实验电炉-1200加长双温区CVD系统

炉体结构	整机采用SUS304不锈钢材质，流线型外观，断热式结构日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好双层壳体结构，内置风冷层，有效降低外壳表面温度炉盖可开启，可以实时观察加热的物料
电源	电压：AC220V 50/60Hz；功率：8kW
炉管	高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小；尺寸：Φ60/80/100*1200mm
法兰及支撑	SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合
加热系统	加热元件采用优质合金丝，表面负荷高、经久耐用；加热区长度：350mm2；恒温区长度：450mm；工作温度：≤1150℃；温度：1200℃；升温速率：推荐≤10℃/min；快升温速度30℃/min.
温控系统	日本富士仪表，64段控温程序，可分步、分段；测温元件：N型热电偶；控温精度：±1℃
混气系统	三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套每路气体进气管路配有不锈钢针阀通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格：0~1SLM 流量精度：±1.5% 法兰上预留一路浮子流量计，流量规格0.3-3L/min
真空系统	采用双极旋片真空泵+分子泵，极限真空可达4.0*10^-4Pa 复合真空计显示，配置电阻规+电离规抽速：110L/s，风冷式散热结构配置真空角阀、波纹管、压差式充气阀
可选配件	冷水机，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件等
保修期	整机一年保修（相关耗材除外）

可根据客户要求定制！

特色与优势

1.加长双温区炉体，大大加长了实验区域的温度均匀性；

2.开启式炉盖设置，降低沉积温度、加快沉积速度；

3.日本富士温控仪表，64段控温程序，可分布，分段，三路质量流量计，数字显示精确控制气体流量；

4.双极旋片真空泵+分子泵，实现对真空度的不同要求，极限真空可达4.0*10^-4Pa；

5.配置一路浮子流量计及三路高精度质量流量计混气系统，可满足不同气氛下的实验要求；

6.内置S型热电偶，可快速、实时监测反应物料的温度变化情况；

7.尾气活性炭过滤处理，减少反应气体排放对实验室环境的影响。

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